NXT-H可以搭載[敏感詞]供應(yīng)12種類晶圓的多晶元單元(MWU12i),以此1臺(tái)可以貼裝復(fù)數(shù)種類的裸晶片。此外,以在清潔室使用為前提,XY機(jī)械手對(duì)應(yīng)清潔化。也能貼裝HEPA過濾器,實(shí)現(xiàn)了對(duì)于半導(dǎo)體元件適合的環(huán)境。